半導体プラズマ装置
Plasma Descum System for WLP
Wafer Level Packageプラズマデスカムシステム
・Manual Plasma Cleaning装置:
研究開発及び小型生産ラインに適合、
・Strip Plasma Cleaning装置(JSSPS series):
Reactive ion etching(RIE)Plasma etching (PE)
・Flow Plasma Cleaning装置(JSFPS series)
大量生産、無人工場自動化ラインに対応可能
半導体プラズマ装置